4英寸迷你型探针台,适宜4英寸以内样品测试,可放置在手套箱使用,重量轻巧,方便实惠。
PS:探针台属于非标产品,均可根据客户需求进行定制;
◆ 满足I-V/C-V,PIV测试,光电测试等 ◆ 卡盘要做6英寸,可用于6英寸以内样品测试 ◆ 同轴丝杠传动结构,线性移动 ◆ 可放置于手套箱内使用 ◆ 形状轻巧,操作方便,价格实惠 |
l 台体:
尺寸 | 4英寸/6英寸 |
水平旋转 | 可360度旋转,可微调15度,精度0.1度,带角度锁死装置 |
X-Y移动行程 | 4英寸*4英寸 |
X-Y移动精度 | 10微米 |
样品台Z轴调节 | 可升降10mm |
样品固定 | 真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附环 |
针座平台 | U型针座平台,可放置6个探针座 |
背电极测试 | 样品台电学独立悬空,4mm插孔可接背电极 |
外形尺寸 | 400mm长*400mm宽*500mm高 |
重量 | 约25千克 |
l 光学系统:
显微镜类型 | 单筒显微镜/体式显微镜 |
放大倍率 | 16X-200X |
移动行程 | 水平方向绕立柱360度旋转,Z轴50.8mm |
光源 | 外置LED无极调节亮度环形光源 |
CCD | 200万像素/500万像素/1200万像素 |
l 探针定位器:
X-Y-Z移动行程 | 12mm*12mm*12mm |
移动精度 | 10um/2um/0.7um/0.5um |
吸附方式 | 磁力吸附/真空吸附 |
线缆 | 同轴线/三轴线 |
漏电精度 | 10pA/100fA/10fA |
固定探针 | 弹簧固定/管状固定 |
接头类型 | BNC/三同轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 |
针尖直径 | 0.2um/1um/2um/5um/10um/20um |
针尖材质 | 钨钢/铍铜 |
l 可选附件:
加热台 |
显示器 |
转接头 |
射频测试配件 |
屏蔽箱 |
光学平台 |
镀金卡盘 |
光电测试配件 |
PS:探针台可根据客户要求定制。
规格及设计如有更改,恕不另行通知。