SE-RD-STD系列全光谱椭偏仪 其他

衬底类型

透明或半透明衬底

光源

氙灯

光源寿命

>8760H

光谱范围

300-1000nm

入射角

70度（40度-90度每5度可调）

光斑直径

100x120μm(Min80x100um)

测量时间（不对焦）

<2S(单层模型),<约6s（多层模型）

膜厚测量范围（单层膜）

1nm-15μm

对焦

自动讯号对焦

膜厚测量精度

<0.5nm(基于标片)

折射率测量精度

<0.005(基于标片)

厚度重复性精度：

<0.5A（1sigma 标准差,10times）（基于标准片）

折射率重复性精度：

<0.0005（1sigma标准差,10times）（基于标准片）

可测试膜层数量

≥2层

标片数量

2片