离子镀膜机
直流叠加脉冲偏压电源
主要特点
1.具有单极性脉冲偏压电源的所有特点。
2. 直流和直流叠加脉冲模式下,消除了单极性脉冲间隙间离子能量很低的问题。
双极性脉冲偏压电源
主要特点
1.负脉冲的作用同单极性脉冲偏压电源,正脉冲的作用主要是吸引等离子体中的电子来中和工件表面的正电荷积累。因为电子的质量远小于离子,卷绕式镀膜机,加速很容易,所以正脉冲的幅值远小于负脉冲幅值,通常为10~100V,正、负脉冲的电流积分应相等。所以正电源的功率比负电源的功率小很多。
2. 当正电源电压为零时,双极性脉冲偏压就变成单极性脉冲偏压。
磁控溅射镀膜机
偏压电源在多弧离子和磁控溅射镀膜技术中都要使用。只是由于磁控溅射的离化率远低于多弧离子镀,所需偏压电源的功率更小。目前有许多设备既配备磁控溅射靶,也配有多弧靶,选择偏压电源功率时,要以多支工作时的要求来定。早期的偏压电压主要是用可控硅技术的直流偏压电源,现在多为采用高频逆变技术制造的单极性、直流叠加脉冲和双极性脉冲偏压电源。偏压电源主要用于多弧离子和磁控溅射镀膜过程中的辉光清洗、离子轰击和膜层沉积时在被镀工件上施加偏压,在辉光清洗时,它产生辉光;在离子轰击中用于加速离子,提高离子轰击工件表面进的能量,达到溅射清洗效果和提高膜层结合力的目的,在膜层沉积时,它也用于增加离子能量,促进和改善薄膜生长,也会提高膜基结合力,以下是几种常见波形的偏压电源:
单极性脉冲偏压电源
主要特点
1.高频单极性脉冲偏压施压在工件上,相比直流偏压而言,由于存在电压中断间隙,能有效减少打火次数,保护工件表面。
2.脉冲间隙期间,工件表面积累的电荷可以被中和,从而减少了表面电荷积累引起的打火。
3.高频逆变技术中的快速关断能力,能有效减少每次打火释放的能量,即使在打火出现时,也能明显降低工件表面大损伤程度。
4.脉冲间隙期间沉积到工件表面的离子能量很低。
5.可以通过调节频率、占空比要改善和控制成膜速度和质量。
磁控溅射镀膜机
PVD磁控镀膜机
铝膜PVD电镀设备
银膜PVD电镀设备
铬膜真空电镀设备
低温真空电镀设备
低温真空镀膜设备
高真空蒸发镀膜机
PVD真空镀膜设备
高真空蒸发镀膜设备
磁控蒸发双用镀膜机
磁控蒸发两用镀膜机
磁控蒸发真空镀膜机
塑胶金属化电镀设备
磁控/蒸发双用镀膜设备:
集中了等离子体处理,高等阴较磁控溅射,电阻蒸发镀膜装置,大装载量转架和自动化控制技术,工作可靠,重复性一致性良好,沉积速率高快,附着力好,膜层品质细腻等,镀制的薄膜致密硬度高,磨擦系数低,可保持原有工件表面光洁,温州镀膜机,具有韧性好,不易脱落。设备实现镀膜工艺全自动化控制。在基材表面利用真空镀膜方法进行涂层,具有生产成本低,产品合格率高,绿色环保等特点,主要适用于电脑,PVD真空镀膜机,手机,高等工业(家用)电子电器,真空镀膜机厂家,航空等领域,可镀制复合金属膜,合金膜,透明(半透明)膜,不导电膜,电磁屏蔽膜及特殊膜层等。
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